真空泄漏检测技术：氢钯法

当将钯管或钯片加热到700℃〜800℃时，由于钯的强氢渗透，使氢可以通过钯，而其他气体则不能通过。基于该原理的检漏仪称为氢钯检漏仪。其具体结构如图13-20所示。它是一种密封的电离规管，带有已抽空至高真空的钯管。钯管外部有一个加热器，用于加热钯管。试件与该电离计一起连接到真空系统。当系统压力为10-1 Pamdash，10-3 Pa时，将钯管加热，将系统与泵隔离，并用氢气喷洒试样的可疑部分。如果存在泄漏，则氢气通过泄漏进入系统，并通过钯管进入电离规管。此时，电离规读数将增加，表明存在泄漏。停止泄漏检测后，将系统连接到泵，并将电离规管中的氢气通过钯管泵入系统。典型的泄漏检测系统如图13-21所示。该设备是英国爱德华公司生产的LT4A检漏仪。检漏仪使用扩散泵II的原因是，气体流经扩散泵II，从而使要检查的容器更清洁。由于水蒸气和热钯会释放氢气以干扰泄漏检测，因此使用液氮冷阱来防止水蒸气进入钯管。氢钯法的z *最大工作压力为4Pa，下限没有限制。这种方法的最大优点是灵敏度与压力无关。灵敏度通常为10 ^ -4Pamiddot，L / smdash，10 ^ -8Pamiddot，L / s。如果钯表面被污染，则可以通过在空气中加热来纯化。